国度常识产权局信息表露，北京石墨烯征询院、北京石墨烯征询院有限公司、北京大学得回一项名为“晶圆名义处理安设”的专利，授权公告号CN223728127U，恳求日历为2025年1月。

专利摘录表露，本实用新式提供了一种晶圆名义处理安设，其包括：旋改造构单位，包括第一基座和旋转台，旋转台可动掸地开辟在第一基座上，旋转台具灵验于放弃晶圆的承载面；涂胶机构单位，包括涂胶喷头，涂胶喷头用于向旋转台上的晶圆的名义进行涂胶；烘干机构，包括烘干灯，烘干灯的位置可调，烘干灯具有相对开辟的第一责任位置和第一避开位置，烘干灯位于旋转台的外侧；持取机构，持取机构用于将第一工位上的晶圆持取至旋转台上，且持取机构用于将旋转台上的晶圆持取至第二工位上。责罚了现存时代中的手动将晶圆疗养至安祥的加热台上进行固化处理，容易导致涂覆有胶层的晶圆在疗养经由中，引入新的浑浊或毁伤，影响光刻胶厚度的一致性以及固化后果的问题。

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